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電子特氣的凈化愈加受到關注
電子產品對氯化氫氣體的純度要求越來越高。電子產品是現代社會中科技發展的代表，所以對電子特氣的要求越來越高。
由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的凈化愈加關鍵和重要。目前國內的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產品缺陷， 提高制程的產量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。
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