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電子特氣的廣泛應(yīng)用介紹
電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護(hù)氣氛等等。因?yàn)榘雽?dǎo)體和微電子技能向更高功能、更高集成度開展，對電子特氣的純度提出了越來越高的需求，電子特氣的凈化更加重要。目前國內(nèi)的超高純度凈化技能首要依靠進(jìn)口，本身的技能水準(zhǔn)（6N）與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大距離。
本項(xiàng)目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進(jìn)行結(jié)尾凈化，使電子特氣純度由ppm級進(jìn)步到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，然后極大地改進(jìn)工藝才能，下降產(chǎn)物缺點(diǎn)， 進(jìn)步制程的產(chǎn)值，滿意下一代半導(dǎo)體、微電子以及關(guān)聯(lián)高技能開展的需求。本項(xiàng)目將構(gòu)成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技能，處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產(chǎn)化問題。
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