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行業資訊
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增加脫水過程能有效提高氯化氫氣體的反應轉化率
淄博言赫特種氣體有限公司主要經營各種規格氯化氫產品，現有年產2000噸高純氯化氫氣體生產線,連續批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫氣體,以及應用于醫藥中間體、農藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級氯化氫氣體.產品性能先進,質量穩定,處于國內領先地位,達到國際先進水平。
對氯化氫氣體氧化平衡的計算和分析,提出將反應-脫水耦合技術應用于氯化氫氣體氧化過程中,研究了反應-脫水耦合的模擬工藝.結果表明,公司在氯化氫氣體連續氧化的過程中,增加脫水過程能有效提高氯化氫氣體的反應轉化率.考察了在氧氣不過量情況下的多步脫水循環過程,結果顯示提高二次氧化反應的溫度可明顯提高氯化氫氣體的轉化率,氯化氫的總轉化率可以達到49.3%,反應混合氣中氧氣的體積含量低于0.2%.該混合氣可直接用于有機氯化過程。
我公司所生產的電子級氯化氫氣體于2003年10月通過北京市科委科技成果鑒定,獲得國家授權專利,具有自主知識產權.經國內外多家半導體材料生產企業在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝中使用證明,其主要性能技術指標與國外同類產品相當。 |
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